CHIPWAR. Pechino trova una nuova via per litografare i suoi microchip

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Bloccata dalle sanzioni sulle tecnologia sui semiconduttori, la Cina sta esplorando l’uso di una nuova sorgente di luce ultravioletta estrema, Euv, per realizzare un proprio impianto di litografia pr microchip, bypassando la tecnologia olandese a lei proibita.

L’università di Tsinghua avrebbe fatto passi avanti nella tecnologia del microbunching a stato stazionario, Ssmb, che può creare una sorgente luminosa Euv con una potenza molte volte superiore a quella della tecnologia attuale.

La notizia è arrivata dopo che Huawei Technologies, il 29 agosto, ha iniziato la vendita del suo smartphone Mate60 Pro, che utilizzava un chip da 7 nanometri prodotto con la tecnologia di elaborazione N+2 di Smic e la litografia Asml deep ultraviolet – Duv.

Quella che propone l’università di Tsinghua non è una macchina per la litografia ma un’enorme fabbrica di litografia.

Sarebbero uscite notizie dalla Cina della costruzione di una struttura Ssmb nella nuova area di Xiongan vicino a Pechino; con questo progetto, se avrà successo, la Cina potrebbe aggirare le sanzioni statunitensi.

Il sistema Ssmb funziona in maniera diversa dalla tecnologia attuale. Gli elettroni che circolano in un sincrotrone devono essere organizzati in piccoli gruppi che supportano l’emissione di luce coerente. gli esprimenti in tal senso hanno portato a una serie id articolo accademici nel 2021 sull’implementazione di una sorgente di fotoni ad alta potenza e alta ripetizione basata su Ssmb.

Nel marzo 2022, in uno di questi articolo scientifici si afferma che l’Ssmb può essere utilizzato per creare una sorgente luminosa Euv per la litografia.

In generale, la potenza di un raggio laser dovrebbe raggiungere i 250 W per realizzare chip da 7 nm, 350 W per 5 nm e 500 W per 3 nm. Per produrre chip da 2 nm è necessario 1 kW.

Tra novembre 2022, e febbraio 2023 si è passati dalla discussione del sistema alla possibilità che l’Ssmb-Euv possa essere operativo in una struttura a Xiongan.

Dopo il successo del lancio di Mate60 Pro, l’attenzione politica e scientifica cinese si è concentrata su questa possibilità, anche se forse è troppo presto perché la Cina abbia una propria litografia Euv, su basi diverse da quelle occidentali.

Antonio Albanese

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